전북대학교 문세연 교수(공대 양자시스템공학) 연구팀이 상압에서 저온의 플라즈마를 이용해 고품질의 이산화티타늄(TiO2)을 고속으로 증착할 수 있는 기술을 개발했다.
이 기술은 동일 공정 시스템에서 적용된 화학기상증착 대비 2~3배의 속도 향상을 보였고 증착 품질면에서는 더 뛰어난 성과를 보였다고 연구진은 밝혔다.
이 연구 성과는 네이처를 출판하는 세계적 과학저널인 ‘사이언티픽 리포트(Scientific Report)’ 11월호에 게재됐다.
공동 제1저자인 강성찬 연구원은 “증착 속도 향상 외에도 상압 플라즈마 특성 제어를 통해서 증착 층 내 존재하는 탄소와 같은 불순물의 제어에도 효과적이라는 것을 추가적으로 밝혔다”며 “이는 고순도 TiO2 증착 기술의 출발점이 될 수 있다”고 말했다.
이번 연구는 한국연구재단 이공분야기초연구사업과 포스코 기술연구소의 연구 지원을 통해 수행됐다.
김혜지 기자
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